其实这个问题很好解决，探访只要注意以下几点就可以了。

[4]图2. 传统的外延技术3.新兴的外延生长方法虽然上述传统的外延方法可以大大降低位错密度，济南但是异质外延层的材料质量仍然不如同质外延层，济南特别是在高度网格不匹配的系统中。除了光电子器件的应用外，商超商品外延生长和lift-off还有潜力被利用来实现非冯诺依曼计算系统在单个芯片上的非冯诺依曼计算系统，商超商品其方法是将所需的组件混合集成。

图4.外延lift-off技术[13-16]5.先进外延技术和liftoff技术的应用IBM公司的TASE方法是一种先进的选择性生长技术，琳琅使用的是亚100nm的氧化物掩膜，琳琅该方法已被用于演示多种III-V器件在CMOS上的无缺陷集成。[22]图7. 先进的外延lift-off和转移技术的异质集成器件6.展望在垂直堆叠多功能集成电路的晶圆片上生长器件品质的外延层，满目将会大幅减少集成电路的足迹。（图4c）机械剥落已在IBM的Si、余应充Ge、GaAs和GaN基板上得到证明，以生成薄膜CMOS电路，[10]太阳能电池[11]和发光二极管[12]。

种水足在器件层和衬底之间引入缓冲层是一种获得高质量器件层的广泛使用的技术。果蔬1.前言外延技术——在晶体取向的晶圆片上生长单晶薄膜的技术——已经成为在各种无机衬底上开发现代固态电子和光子器件的关键技术。

Narayan给出了异质外延过程中错配应变、菜供热应变和缺陷相关应变之间相互作用的一般描述。

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